二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198534 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種用於半導體和MEMS制造的高溫等離子處理器。AMAT ENDURA反應堆的設計目的是為制造先進的電氣設備提供各種基材的高效、經濟高效的處理，它利用先進的基材加熱和冷卻系統以及沈積和蝕刻系統來提供高質量和高生產率。應用材料ENDURA反應器的基板加工室采用多種系統進行溫度控制，可以同時處理絕緣基板和導電基板。溫度範圍從低至200 °C到高至1000 °C，允許回火、退火和擴散驅動的過程。反應堆室也被密封，內部真空壓力額定值高達10-6托。這就允許使用各種氣體化學物質，並使底物的堅固處理成為可能。ENDURA反應堆還配備了一個等離子體發生器，旨在提供廣泛的工作溫度和壓力水平。等離子體發生器與反應性高頻射頻電源配合工作，產生驅動氧化、蝕刻和沈積的自由基和離子種類。分布環天線確保在大型基板上均勻覆蓋過程。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor還具有先進的底物裝卸硬件。這包括一個自動處理系統與原位卡帶加載，使多達三個基板的處理在同一時間。AMAT ENDURA Reactor還與廣泛的自動化集群工具兼容，允許與自動化負載鎖和機器人進行無縫集成以進行高速處理。除了其底物處理性能外，APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor還包括自己的現場計量和反饋系統，用於實時評估底物的發展。這允許實時的過程監測和反饋,這對於產生一致和高質量的結果至關重要。總體而言，ENDURA Reactor是先進半導體和MEMS制造的頂級系統。它的高級子系統和功能確保了高質量的結果,同時它與自動化群集工具的廣泛兼容性確保了高效且高吞吐量的處理。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是現代半導體和MEMS制造的完美解決方案。