二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198535 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種反應器（或「反應室」），設計用於多種工藝，包括化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）和等離子增強化學氣相沈積（PECVD）。AMAT ENDURA由一個真空室、一組電饋通和一個質量流控制器組成，用於控制氣體和其他反應物向設備的輸送。該系統的設計強調靈活性，允許使用多種反應物源，甚至是不同尺寸的底物（在允許的腔室大小範圍內）。單晶片APPLIED MATERIALS ENDURA能夠在9英寸的基板上創建~ 1.5%的均勻性,並使粒子計數低於每秒3個計數。它具有直徑70毫米的圓形腔室、石英窗，壓力可調至500毫巴。一旦建立了工藝，溫度、壓力和反應物濃度等參數都可以實時設置和調整，以便對晶圓沈積工藝進行高度精確的控制。ENDURA還附帶了廣泛的真空和溫度成分。例如，該裝置裝有用於清除反應物的電離器，以及用於輸送氣體和氣態混合物的氣體處理機。該工具還具有變速機械粗加工泵、渦輪分子泵、渦輪分子泵控制器和兩速粗加工泵控制器。資產還配有各種工藝監測和控制系統，有助於確保薄膜沈積的均勻性。這些系統包括用於精確控制基板溫度的質量流量控制器、用於樣品加載的熱冷板、用於溫度均勻性進入腔室的分板、用於測量基板溫度的光學高溫計、互鎖開關和工藝控制器。作為其安全功能的一部分，該型號配備了超壓傳感器和緊急按鈕，以便在必要時迅速停止一個過程。這個高科技反應室是專業人士在制造納米材料、化學工程和量子技術等先進過程中使用的通用工具。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA具有強大的設計、先進的功能和精確的控制功能,是那些希望將其過程控制提升到一個新的水平的人的寶貴工具。