二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198543 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進的等離子體反應器系統，設計用於制造先進半導體器件的關鍵步驟。它能夠維持任何現有工具的最高工藝溫度,非常適合臨界低溫和3D設備應用。AMAT ENDURA反應器由幾個不同的腔室組成。載荷口是腔室裝卸專用區域。它包含機器人，負責將晶圓從載荷端口轉移到反應腔，以及維修其他腔室。基壓室在過程中將基板和泵固定到位，還包含溫度控制元件等儀表。反應室是反應堆的心臟，包含等離子體源材料和控制器，負責調節過程參數。最後，排氣室包含渦輪泵和惰性氣體，用於調節系統中的壓力並維持所需的工藝條件。至於工藝參數，APPLIED MATERIALS ENDURA的設計可適應各種溫度，包括低至25°C和高至1400°C的溫度。其設計目的是提供一個統一和清潔的界面環境，防止晶圓在整個過程中暴露於介電沈積或汙染。主動維護也是一項關鍵功能,允許用戶在任何過程之前設置他們的配方,以增強工具性能並保持高級別的可重復性。ENDURA反應堆還附帶了廣泛的先進診斷和質量檢查，包括對工藝步驟的實時現場監測，表征蝕刻和沈積結果的多重計量技術，以及監測晶體結構和方向的晶體示蹤技術。自動光學相幹斷層掃描（OCT）也是AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的一個選項，使用戶能夠通過晶圓在亞微米級監控設備結構。AMAT ENDURA反應器是先進的IC制造的理想工具，提供可靠的制造工藝，具有幹凈、均勻的界面和可重復的性能。其廣泛的溫度範圍和通用的工藝實用程序使其成為各種關鍵步驟的理想選擇,例如蝕刻、CVD和PECVD。該系統的全面監控能力，加上主動的維護和診斷，為用戶提供了在不斷變化的半導體行業取得成功所需的精確度和準確性。