二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198545 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA®反應器是一種先進的物理氣相沈積（PVD）設備,用於用薄膜材料覆蓋基板。這種高性能的PVD系統提供了工藝參數的精確控制和出色的材料利用率,從而實現了高吞吐量和成本節約。該設備提供一致的卓越性能和可靠性。AMAT ENDURA®由一個裝有基板卡盤和氣體面板組件的水冷不銹鋼室組成。源材料保存在氣體面板內的密封源容器中。電子束蒸發器用來焚燒原料.產生的物質蒸氣通過擴散板，最終沈積在基板上。燃氣面板包括一個面板加熱器、一個光學觀察窗和向前的稀有氣體入口。為保證水分和無氧沈積條件，在沈積前將高純度稀有氣體引入室內。氣體隨後通過集成質量流控制器（MFC）以精確控制氣流和沈積厚度。電極基板卡盤安裝在地板上，由三個同心圓柱電極組成。它們用於精確控制基板溫度以及基板加熱和冷卻。而且，卡盤允許基板在腔焦平面內旋轉和運動。APPLIED MATERIALS ENDURA®機器還包括一個用於監控沈積過程的控制模塊。控制模塊由控制臺、軟件、電源、聯鎖工具和泵組成。該資產旨在方便安裝、維護和操作,同時提供出色的控制級別。ENDURA®反應堆是一種可靠而強大的PVD模型。提供精確的材料利用率、高通量和優異的材料均勻性。是許多薄膜沈積應用的理想解決方案。