二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202812 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一個先進的蝕刻/沈積平臺,旨在提供卓越的生產產量、最短的周期時間和卓越的性價比。它是一個全面、集成的蝕刻/沈積設備,具有多種功能,能夠在基板制造中實現高級功能和高科技應用。這種單晶片沈積/蝕刻反應器比競爭性蝕刻/沈積工具具有更高的吞吐量、更大的工藝靈活性和更高的產量均勻性。AMAT ENDURA系統由兩罐汽化室、兩段式真空室、超低壓源（ULV）、先進的晶圓加載單元和過程控制軟件套件組成。兩罐汽化室裝有定制設計的原料源，兩段真空室裝有一個高效工藝範圍的強大的RIE/等離子體蝕刻模塊。ULV壓力源提供超低壓力,以實現最佳ECR等離子體源性能,從而提高蝕刻/沈積能力。先進的晶片裝載機提供流暢的裝卸動作和安全功能，以保護晶片並確保一致的結果。APPLIED MATERIALS ENDURA工具設計用於執行各種蝕刻/沈積過程。它支持廣泛的工藝應用，包括高長寬比特征蝕刻/沈積、納米技術應用、幹蝕刻和熱處理。該資產還有助於綜合過程控制，允許同時優化過程，提高收益和可靠性。ENDURA模型非常適合先進半導體器件的高通量生產。它擁有自動化配方生成、配方生成和參數調整、超低壓操作範圍以及集成等離子體發電機和遠程傳感器能力的集成過程控制設備。它還具有定制設計的原料來源和高效率的工藝範圍。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA系統的設計註重過程的重復性、高產量和增強的過程靈活性。其集成的過程控制軟件套件提供了對蝕刻/沈積參數的完全控制，允許提高產量，快速周轉時間和可靠的性能。AMAT ENDURA單元可廣泛應用，包括MEMS、光電器件和射頻現場器件生產。機器的高級功能能夠減少周期時間、提高產量和節省成本,從而實現先進設備的生產。