二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202897 待售

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ID: 9202897
晶圓大小: 12"
CVD Al parts chamber, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA設備是一種革命性的化學氣相沈積(CVD)反應器,旨在使纖薄層材料的沈積產生「智能」塗層、透明金屬表面和其他功能材料。這一創新沈積系統專門設計用於化學氣相沈積應用,為一系列工業、研發、制藥和生物技術應用提供優越的前體運輸和均勻、可重復的薄膜沈積。AMAT ENDURA裝置具有廣泛的特點,使其成為一種可靠和通用的化學氣相沈積工具。這種CVD反應堆設計有一個強大的自動氣體控制機器,提供精確的流量和壓力控制反應物和載氣。這樣可以確保一致和高質量的結果,同時優化薄膜沈積的轉換率、吞吐量和均勻性。應用材料ENDURA利用獨特設計的氣體噴射器,使反應物和載體氣體的稀釋最小,從而詳細控制反應物濃度和流速。ENDURA還包括一系列用於精確控制工藝室溫度的選項。這些溫度控制選項能夠精確控制底物、反應物和載流子溫度,以實現快速的薄膜沈積。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA還設計了低壓和溫度漂移,以提高工藝穩定性和結果均勻性。這種溫度控制允許一致和均勻的層厚度,從而產生均勻和可靠的薄膜特性。AMAT ENDURA工具具有單一腔室設計,最大限度地提高底物通量,同時也實現了完整的反應物和底物隔離。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR also features a small foot that it to be easily ingl此外,ENDURA還提供了一個具有全自動控制功能的可編程過程控制器,提供了可重復和精確控制的過程結果。最終,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA資產為生產薄膜產品提供了高效、可靠和通用的CVD平臺。這種先進的反應堆模型是為研發和工業應用而設計的,允許用戶定義的定制制造過程。AMAT ENDURA反應堆也用途廣泛,成本效益高,使薄膜沈積工藝能夠輕松滿足精確的應用要求。
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