二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203800 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種用途廣泛、最先進的單片或間歇反應器，設計用於半導體制造和相關加工。它是為外延生長、沈積、蝕刻和氧化應用而設計的多功能工具。蝕刻、沈積和氧化過程都合並在一個集成單元中，從而無需多種工藝工具。AMAT ENDURA具有高性能的冷墻設計，在大的過程載荷下具有均勻的蝕刻和沈積速率，而且設置靈活方便。APPLIED MATERIALS ENDURA配備了先進的故障監控系統，有助於防止潛在的安全和機器故障。它有一個獨特的現代設計，大面積塗層淋浴頭和螺旋入口管分布均勻的氣體混合和流過整個工件。這使得該裝置適用於外延生長和低k膜沈積等過程。ENDURA采用四室設計提供靈活性,可滿足各種工藝需求。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA提供了一系列工藝技術選項，如快速熱處理（RTP）、遠程等離子體清洗、火焰退火和快速熱退火。該設備還支持最先進的快速熱處理（RTP）和高溫退火（HTA）。還支持快速、高精度的應變選擇性退火和快速爐退火工藝。AMAT ENDURA有一個內置的自上而下的通路室，能夠進行連續晶圓處理，在高速率和低壓下提供出色的溫度均勻性。APPLIED MATERIALS ENDURA還配備了全方位的自動化功能，允許用戶精確控制工藝參數。這包括自動和半自動模式，以及完全手動控制。用戶友好的GUI和數據記錄功能縮短了設置和數據收集的時間,使其成為高批量生產和高科技應用的絕佳選擇。ENDURA是加工強化和提供超清潔模具生長的理想反應器。它是為最大的工藝一致性和低顆粒汙染而設計的，是先進半導體制造的絕佳工具。