二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9222234 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是一種多功能、高性能的等離子體蝕刻設備,具有一系列特性和功能。它旨在支持各種類型的蝕刻應用，範圍從超細光掩模到半導體晶圓。AMAT ENDURA能夠在一系列材料中產生排泄率低、蝕刻均勻性近乎完美的高長寬比特征。APPLIED MATERIALS ENDURA系統的核心是獲得專利的ExtorQTM電源技術：一種小巧、功能強大、用途廣泛的射頻發電機,可提供卓越的性能和前所未有的等離子體工藝控制。ExtorQTM電源為用戶提供了對離子能量、離子密度和等離子體化學的單源控制，從而可以精確控制蝕刻參數和最小化過程變異性。ENDURA還提供了一系列高級流程監控功能。該單元的控制和分析軟件包包括自動過程優化工具和實驗設計功能：用於設置可重復和高度可編程的晶圓處理條件的工具。軟件還支持遠程訪問和監視,從而實現遠程流程優化。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆還提供了廣泛的腔室選項，包括PE-CD、PE-BT和PE-OD。每個腔室構型利用各種磁體構型和電子回旋共振（ECR）源。通過添加AMAT ENDURA APPLICED MATERIALS ENDURA Total Chamber Control （ETCC）,用戶可以建立統一的梁模式,從而在不同的腔室類型中實現統一的工藝結果。此外，ENDURA反應堆提供了一系列自動化的工藝配方，確保用戶過程的可重復性和提高吞吐量。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA工藝室還配備了基板管理（SM）和負載鎖模塊,這些模塊可實現高效的基板傳輸和處理,而無需人工幹預。總體而言，AMAT ENDURA反應堆是一種功能強大、功能豐富的蝕刻機，可提供可靠可靠的工藝。APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆具有ExtorQTM電源、先進的工藝監控、遠程訪問和自動化工藝配方,是需要精確蝕刻結果和嚴格工藝控制的用戶的理想選擇。