二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9223707 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種先進的、高通量的化學氣相沈積（CVD）反應器部件設備，旨在優化半導體器件的生產。AMAT ENDURA提供了多功能性和靈活性,可通過改進的過程控制和性能滿足不斷變化的設備要求。APPLICED MATERIALS ENDURA基於革命性的CVD設計,使其成為一個高度可靠的系統,提供精確的過程控制、提高的可生產性和卓越的速率性能。該單元采用垂直配置和模塊化設計，具有較短的工藝室，與傳統系統相比，可實現更高的薄膜沈積速率和更小的占地面積。這臺機器還采用閉環控制，用於精確的工藝設定點，配有用於精確的氣流輸送的氣體輸送工具，並包括多個腔室，用於多步驟的工藝編組。ENDURA由一個主機、工序源、源室、基板級、工序室和排氣腹側組成，每一個都有各自的特點，以提高工序性能和效率。大型機高度自動化,可輕松配置多臺設備。工藝源室允許精確的氣體輸送，具有先進的氣流控制，而基板級提供精確的樣品放置，具有獨立的基板溫度控制，允許在整個生產過程中可重復的條件。工藝室是資產的中心，為CVD反應提供了條件。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA配備了強大的等離子體源，並提供統一的溫度控制，確保整個腔室和基板上的薄膜質量可靠，即使沈積速率很高。該腔室還配有先進的HRU（熱回收單元），提供從源到基板級和工藝腔室產生的熱量，以減少電力使用，進一步優化工藝吞吐率。最後，排氣腹側有助於管理CVD處理過程中產生的反應性氣體和煙霧。AMAT ENDURA提供卓越的工藝控制,旨在提高產量、最大限度地減少停機時間並最大化盈利能力。它的模塊化設計和高效的操作使其成為幫助降低生產成本同時提高性能和可靠性的專家工具。該模型的高通量和受控的CVD環境使其成為快速經濟高效地生產半導體器件的理想解決方案。