二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9227874 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一種先進、高性能的沈積設備，為各種材料提供高通量和嚴密的均勻性控制，使其成為幾乎任何沈積應用的理想平臺。利用專有的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）技術開發的AMAT ENDURA平臺能夠沈積各種底物，包括金屬、電介質、導體和半導體。APPLIED MATERIALS ENDURA的設計支持沈積、產業化和定制過程。ENDURA具有三個獨特設計的加工室,能夠同時處理三個獨立的基板。此外,還配備了四個MFP-3D機器人和兩個可分別控制的陶瓷到金屬密封件,從而實現了系統功能的高效自動化。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA還具有全套工藝控制功能,如高精度溫度、壓力和流量控制,以及各種基板配置和射頻選項。AMAT ENDURA純外延沈積過程堅固耐用，使復雜的矽化結構沈積具有很高的階梯覆蓋率。該裝置具有良好的薄膜均勻性，能夠在所有三個工藝室內沈積均勻性高達± 0.5%。這使得APPLIED MATERIALS ENDURA異常可靠，並有助於成功制造各種高性能半導體器件結構。ENDURA的其他特點是其廣泛的工藝範圍和卓越的可重復性。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的工藝範圍是業界最廣的,能夠使用一臺機器對各種材料進行沈積和表征。同時,該過程的重復性非常精確,可重復性高達0.5% ±.這樣可以確保可重復沈積運行一段時間的準確性和一致性。AMAT ENDURA反應堆的一個獨特特點是其支持工業規模生產的能力，具有定制和自動化的機會。這可以從APPLIED MATERIALS ENDURA有效處理具有先進晶圓跟蹤能力的大容量基板，加上其自動基板加載和卸載選項的能力中看出。此外,ENDURA還可以與其他系統（如在線計量）集成,以便進一步定制該工具。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種先進的高性能沈積資產，提供了令人印象深刻的能力和精確度。AMAT ENDURA具有廣泛的工藝範圍、自動化的操作和靈活的定制機會,對於任何希望通過高級沈積解決方案實現工藝數字化的半導體制造設施或研發實驗室而言,AMAT ENDURA都是一項寶貴的資產。