二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9240194 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高品質的閉環化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於薄膜晶體管(TFT)在半導體工業中的沈積應用。AMAT ENDURA反應器使用雙區沈積室,允許嚴密控制熱環境,以確保膜沈積均勻,對沈積過程具有更高的溫度敏感性。APPLICED MATERIALS ENDURA反應器被設計為在大型活動區域上提供卓越的膜均勻性,同時保持優異的器件性能。ENDURA反應器設計有簡化的機械元件,提供最佳的基板交換、氣體輸送和沈積時的均勻性。反應堆包含一個內部氣體歧管和閥門,允許精確的氣體輸送到基板。雙區腔室允許在晶片上單獨控制熱梯度,以加強工藝控制和均勻的薄膜沈積。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器還包含一個高效磁性冷卻設備,在交換基板時減少熱沖擊。AMAT ENDURA反應器具有穩定的沈積特性,薄膜性能變化最小.它還能夠以極高的精度沈積高導電性和復雜的材料型材。APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆實現的優越的均勻性,使其成為超級邏輯、有源矩陣液晶、高速邏輯驅動等應用的絕佳選擇。ENDURA反應器是一種功能極為強大且用途廣泛的CVD系統,能夠沈積多種材料,包括非晶矽、多晶矽、SiGe和SnO2。該機組有一個遙控箱,便於對反應堆進行監測和運行。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA反應堆采用緊密耦合的氣體輸送機提供熱控制,從而實現高產率和薄膜性能的最小變化。AMAT ENDURA反應堆可靠、易用、性價比高。其優越的均勻性、精確度和準確性使其成為半導體工業中廣泛的器件應用的理想選擇。APPLICED MATERIALS ENDURA反應堆提供了最高的性能加上可靠、經濟高效的沈積能力,對於那些在半導體行業尋找高質量和可靠沈積系統的人來說是絕佳的選擇。
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