二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9247381 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種基於磁增強等離子體源的先進反應性離子蝕刻（RIE）設備。它是一種多室工具，使用等離子體輔助沈積過程從基板和介電層蝕刻（或去除）圖樣。該系統可用於各種工藝應用，如IC制造、接觸蝕刻、光致抗蝕劑剝離和接觸孔形成。AMAT ENDURA單元為用戶提供了精確控制蝕刻工藝的創新解決方案。其核心技術是磁增強等離子體（MEP）源。這項專有技術使蝕刻工藝更具可重復性和效率,在復雜的基板上具有更高的產量和均勻的特征尺寸。磁化等離子體源有助於減少射頻電噪聲,並允許更廣泛的過程窗口.APPLICED MATERIALS ENDURA機的設計旨在提供對蝕刻工藝的精確控制。其多腔室配置確保晶片表面的均勻性和清潔性。雙加工室使蝕刻工藝能夠與汙染完全隔離，並允許使用不同的氣體有效蝕刻不同的材料。該工具具有多種高級功能，包括用於蝕刻具有挑戰性的電介質的寬壓力範圍（從mTorr到高Torr）、允許精確特征控制的高分辨率石英掩模以及高通量蝕刻工藝。它還擁有先進的監控和過程控制系統，為用戶提供對蝕刻過程的實時控制。ENDURA資產可用於半導體、航空航天、醫療和汽車等多種行業。它旨在實現更精確、更高效的蝕刻工藝，降低基板損壞、汙染和屈服損失的風險。使用該模型還可以降低運營成本並提高吞吐量。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應器是一種基於磁增強等離子體技術的先進高效RIE設備。它為用戶提供了對復雜基板蝕刻過程的精確控制，有助於降低汙染、基板損壞和屈服損失的風險。此外,系統能夠提供高吞吐量性能,降低運營成本並提高盈利能力。