二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9258297 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是專門設計用於制造先進半導體器件的多模式工藝平臺。該反應堆通過蒸氣和液體工藝步驟提供晶圓級精度，並結合業界領先的可重復性和一致的結果。AMAT ENDURA反應堆具有精確加熱和冷卻晶片和基板的能力，並提供了廣泛的溫度、壓力和流動範圍，以允許最復雜的過程。最先進的設計提供動態熱管理,適用於熱過程和濕過程。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor配備了優化的墻體限制裝置，提供了較短的限制時間和高效的熱循環。此功能提供了進程的可擴展性,以便所有晶片都可以以相同的結果進行處理。動態熱管理可創建快速熱循環,有助於確保性能一致。ENDURA的加熱元件經過精密控制，其塗層均勻性通過激光幹涉反射法（LIR）驗證，以確保一致的結果。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor為用戶提供了一次處理多達四個晶圓的能力。這允許在一個周期內進行多次晶圓處理，從而提高吞吐量和效率。AMAT ENDURA的氣體擴散歧管（GDM）確保了所有晶片的均勻性.GDM是使用先進的激光掃描設備生產的，以確保準確性和工藝一致性。此外，歧管的每個模塊都能夠提供多達四個單獨的流量控制環境，這使得反應堆可以根據不同的工藝要求進行定制。應用材料ENDURA反應器提供溫度控制和過程的靈活性.反應堆提供兩種類型的溫度控制，一種是靜態系統，可以實現長期精度，另一種是動態單元，可以快速跟蹤溫度。這兩個系統都可以快速、一致地方便地加載和卸載晶片。集成數據采集機（DIAS）對ENDURA反應堆的性能和過程穩定性進行實時監控。反應堆還配備了徹底的排氣工具，確保所有工藝煙霧安全排出。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種可靠、靈活、用途廣泛的反應堆，滿足了先進半導體器件生產的需求。該資產提供靈活可靠的過程控制和準確的熱管理，確保所有晶片的處理結果一致。AMAT ENDURA Reactor允許在一個周期內進行多次晶圓處理，其集成數據采集模型確保所有工藝都安全可靠。