二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9265756 待售
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ID: 9265756
System, 12", parts system
Missing parts:
(2) Dry pumps for load module
Dry pump for transfer module
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor(AMAT ENDURA)是一種高通量金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)平臺,旨在啟用最先進的3D邏輯器件。APPLIED MATERIALS ENDURA具有業界領先的吞吐量,每小時最多可啟動500個晶圓,而且設計可靠可靠,是設備制造的強大工具。ENDURA具有革命性的二元源構型,可實現精確的鹵化物比控制,實現精確準確的VOC沈積。這提供了對反應物濃度和反應時間的精確控制,導致化學計量漂移最小,可制造性更好。此外,采用了最高純度的蒸氣輸送系統,確保了高可重復性和一致的工藝性能。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的創新底盤設計也允許原子層沈積(ALD),能夠支持更廣泛的加工條件,如溫度、壓力和反應物組合。先進的控制系統可實現每個區域的regloom時間,並確保使用最先進的處理條件。此外,該系統還具有快速端點檢測和過程反饋的內置功能。AMAT ENDURA的人體工程學設計允許方便地進入腔室部件,提供動手維護和故障排除。這一設計還確保了它可以很容易地適應客戶的標準工作區,並且還與一系列現有的機器人和升降機系統兼容。APPLIED MATERIALS ENDURA為客戶提供了可靠、經濟高效且先進的MOCVD平臺,他們需要最高的工藝性能和最高的設備吞吐量。它提供了性能和生產效率之間的完美平衡,從而提高了效率並降低了總體成本。ENDURA是用於先進設備制造的可靠、可靠且經濟實惠的工具。
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