二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266216 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種在半導體工業中廣泛使用的成熟物理氣相沈積（PVD）工具。它旨在在廣泛的工藝條件下提供先進、高性能的沈積。AMAT ENDURA反應堆利用具有反應性氣體和前體的單室或雙室真空系統來沈積所需的材料。它具有多種獨特的功能，能夠很好地控制材料沈積的精確質量，如自動壓力控制、高分辨率壓力控制、提高表面粗糙度的脈沖反應物流動以及優化層動力學的先進反應控制。另外，幾種等離子源技術可以集成，如微波、電子束和直流電（DC）功率，允許較低溫度的過程和更大的控制。應用材料ENDURA反應堆具有高通量材料生長能力，在大面積上提供均勻或量身定制的逐層生長。它具有一個大的柔性工作區，能夠處理從幾英寸到幾十英寸的基板。為確保可靠性，ENDURA反應堆包括一個主動清除汙染系統，並在發生任何工藝中斷時自動關閉順序。為了方便起見，可以包括一個自動化的機器人門，以便於底物的裝卸。其直觀的圖形用戶界面（GUI）允許簡單一致的流程-配方驅動操作,以及並行多次運行以加快處理時間。此外，其模塊化設計有助於促進升級，確保隨著技術和應用的變化，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆保持最新狀態。AMAT ENDURA反應堆提供先進、高性能的沈積能力，對材料的生長質量和吞吐量有很大的控制。它具有通用的過程、可靠的操作以及易於升級的模塊化設計,是半導體應用的理想選擇。