二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266616 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
已售出
ID: 9266616
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Sputtering system, 8" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一種高性能的CVD(化學氣相沈積)平臺,用於種植多種薄膜材料。可用於生產包括多晶矽、氮化矽、非晶矽、電介質、金屬層在內的一系列薄膜。通過其高端自動化,設備可以保證可重復的效果和提高生產產量。該系統配備了高級外延升降性能(ACELP)基板堆棧裝載機,有助於提高生產吞吐量和效率。該單元還允許用戶快速、準確地更改配方,而無需人工幹預。該工藝室的設計滿足了廣泛的應用需求,同時也提供了工藝穩定性、均勻性和控制的出色組合。這臺機器具有高性能微控制器,能夠實現自動學習等自動化功能,從而提高效率和準確性。它旨在降低配方的復雜性並縮短周期時間。該工具還具有強大的圖形用戶界面(GUI),可幫助用戶快速設置和控制流程。該資產可與工廠自動化模型集成,以增強過程監控。AMAT ENDURA反應堆是一種高度可靠和靈活的設備,具有廣泛的能力。適合於高容量和中層應用的批量生產以及研究水平的細膜沈積。通過自動化控制和強大的流程監視和報告,該系統將提供可靠和統一的結果。該裝置設計高效可靠,是各種薄膜沈積和超高真空應用的理想選擇。
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