二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9296941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種物理氣相沈積（PVD）反應器，設計用於在單個設備中提供沈積和等離子體蝕刻能力。AMAT ENDURA被設計為在高通量的環境中提供最高品質的影片和最佳性能。該腔室由最多五個獨立的組件構成：基板支架、高頻源、卡盤、鎖載室和次級源。基板支架允許系統處理從任何尺寸到300 mm的多塊基板。高頻源用於制造高功率等離子體，用於分解過程氣體中的化合物。卡盤用於在過程中保持基板，而載荷鎖室的設計是通過允許基板在不暴露於大氣的情況下進行載荷和卸載來減少汙染。最後，利用二次源引入吸氣劑和其他含化合物氣體。APPLICED MATERIALS ENDURA的多區Control™技術提供了同一腔室內的多個沈積和蝕刻區域。這項技術使操作員能夠將其工藝要求與設備完美匹配,並實現盡可能高的產品性能。多膜沈積源，包括濺射源和等離子體源，可以在單個基板上使用，既允許高片狀電阻，又允許高電導層。此外，該機器還能夠通過各種材料進行蝕刻，包括金屬、電介質和光致抗蝕劑。ENDURA還配備了多種自動化功能，有助於確保流程可重復性和準確性。可以對自動參數（如過程時間、溫度和壓力設置）進行編程和保存,以確保無論操作員如何,結果都保持一致。此外，該工具還具有一套安全功能，包括壓力控制器和負載鎖，可降低操作資產時的風險量。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種強大的物理氣相沈積反應堆，在高通量環境中提供高性能和可靠的性能。憑借其多區Control™技術和自動化功能,操作員可以創建高質量的薄膜和蝕刻,並具有無與倫比的過程重復性。