二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312917 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9312917
晶圓大小: 8"
PVD Systems, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種設計用於半導體制造過程的反應堆。它是一種高溫、金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)設備,用於種植單晶、薄膜材料,以制造下一代芯片,或集成電路。該反應堆為外延層沈積在單晶生長基板上提供了一個精確的環境,以產生纖薄、高性能的層。AMAT ENDURA反應器是為III/V化合物半導體的生長而設計的,如砷化​​的移植物(GaAs)、磷化銨(InP)及其合金。系統使用自動炮塔監測氣流、舞臺溫度、位置基板和碗,並確定沈積速率。各種材料可通過自動轉盤單元輸送,確保沈積速率一致,是III/V復合半導體層生長的理想選擇。基板級還可配備原位計量工具,精確測量關鍵膜參數。APPLICED MATERIALS ENDURA具有先進的熱管理功能,使自動化能夠快速準確地上升到高溫,同時最大限度地減少反應堆組件上的熱應力。這些控制可加快坡道時間、提高工藝能力和提高工藝精度。此外,ENDURA反應堆還配備了智能溫度優化機,可主動監控過程溫度以實現最佳熱對流。這樣可以確保精確的溫度調節,並提高生長均勻性和產量。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA專為快速、方便的維護而設計,使操作員能夠輕松地訪問組件,從而加快工具的使用時間和維護速度。此外,它的低維護結構和先進的零件制造確保了最小的停機時間,並隨著時間的推移提高了產量。總體而言,AMAT ENDURA是一個強大的MOCVD反應堆,設計用於III/V復合半導體層的生長。其先進的特性和精確的控制為打造單晶薄膜材料打造先進的芯片和集成電路提供了精準的環境。
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