二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312918 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高度先進的蝕刻沈積反應器，常用於半導體材料的制造。其生產極精確的納米技術元件的能力無與倫比，使其成為半導體行業中強大可靠的工具。AMAT ENDURA是一種用於蝕刻和沈積過程的單晶圓反應器腔室系統。腔室的形狀使得它提供等離子體和光學通量的均勻性。內部由兩個相對的電極組成，每個電極由13.56 MHz射頻源供電。APPLICED MATERIALS ENDURA的等離子體源被優化，以確保離子的精確放置，從而導致嚴密的過程控制。這也有助於最小化電場和減少漂移。該反應器的設計具有優異的蝕刻均勻性和更精確的表面特性。沈積過程可以量身定制，以達到特定的電阻率，薄膜組成，和摻雜劑剖面。為了保持室內環境的一致性，ENDURA利用一系列屏蔽和屏蔽將底物與等離子體分離，以減少潛在的傷害。這也有助於最小化電場和漂移。為了進一步保護底物，反應堆配有自動沖洗泵，控制室內壓力並保持在安全操作水平。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA具有多項提高通量的寶貴功能，包括多口袋熱解襯裏和高純度氣線。此外,系統還可以與自動化連接,從而使流程更易於管理,例如在批處理模式下執行操作,以及如何管理晶片堆棧。AMAT ENDURA是一種經過驗證且經濟高效的工具,用於許多操作,旨在提供顯著的流程改進、多功能性和優越的產量。其可靠的性能使其成為小特性、產量和成本都很重要的過程的理想解決方案。