二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312919 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA設備是一種先進的沈積反應器，旨在以快速的速率和精確的厚度生產具有精確層的薄膜。AMAT ENDURA，代表外延、沈積、反應性蝕刻和Advanced，是一個由APPLIED MATERIALS ENDURA TE、Cell和Chamber系統三部分組成的系統。ENDURA Chamber是一種最先進的超精密熱/真空處理室，能夠高精度地生產高質量的晶圓基板。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA TE包括一個集成的高級氣體單元、一個高真空泵模塊、一個實時端點控制、一個RF發電機塊和一個RF送電機。AMAT ENDURA電池由用於沈積和蝕刻晶片基板上沈積材料層的各種工藝和沈積組件及控制器組成。APPLICED MATERIALS ENDURA CELL包括低質量流動離子源、大功率射頻源、陽極、陰極和反應氣線等先進氣體分配元件，以及脈沖LED、脈沖激光、高壓偏置電極。先進的氣體工具有助於監測和控制沈積過程，而射頻發生器和高壓偏置電極控制基板的電偏置。整個ENDURA資產設計為在整個晶片表面上產生具有精確、高精度厚度的均勻沈積層,具有高精度（+/-1A）可重復性和高通量處理速率。整個模型，包括AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Cell，設計為用戶友好和自我診斷，確保用戶即使在延長運行期間也能獲得可靠、高保真的性能。AMAT ENDURA Cell憑借其集成的氣體設備、射頻源和可變偏置，可以並行處理多片薄膜，從而實現更高的吞吐量過程，降低擁有成本。APPLIED MATERIALS ENDURA TE被設計為高效率,具有低功耗電源和小占地面積,非常適合小型實驗室。ENDURA系統是任何需要高精度、可靠沈積工藝的行業的理想選擇。它效率高,具有最先進、業界領先的熱/真空處理能力、氣體系統和射頻源,提供卓越的可重復性、快速的速度和精確的厚度。其集成氣體系統和可變偏差提供了對沈積過程的完全控制，而其低消耗電源和小占地面積使其成為任何規模實驗室的理想選擇。為了獲得可靠、高保真的性能,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA單元沒有任何性能。