二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9401876 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是下一代半導體製造的平臺。它是制造過程中先進材料沈積在半導體晶片上的摻雜設備。AMAT ENDURA是一種多室、高真空系統，用於離子植入器、化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）、等離子增強CVD、等離子增強化學氣相沈積（PECVD）、金屬有機化學氣相沈積（MOCD）、原子沈積。它旨在提供精確的過程控制、出色的可重復性和更高的生產率。APPLICED MATERIALS ENDURA平臺將多個腔室和工藝源結合在一個單元中,並以其高性能和先進的安全特性加以區分。它結合了一個可自動裝卸反應堆腔室的負載鎖和一個設計用於容納各種組件的工藝源托盤，包括離子、前體，甚至是一個可重復的濺射源。機器還支持機器人晶片處理，使許多晶片可以同時裝卸。該平臺包括眾多的高級功能，允許精確的摻雜，優越的工藝質量，更大的吞吐量。ENDURA的過程控制系統使用先進的診斷技術,能夠對過程室和晶片進行現場監控,並對過程進行全面優化,以獲得更高的產量和擴展到更高的設備密度。該平臺還具有一套安全功能，包括用於疏散的高效渦輪泵、消除顆粒汙染的靜電卡盤以及用於遠程監控的多個接口。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA平臺在與制造環境類似的條件下進行了廣泛的測試和驗證。這樣可以確保客戶受益於精確摻雜和卓越的可靠性。其先進的安全功能在整個過程中最大限度地提高晶圓保護,而其高效的設計降低了能耗。這使得AMAT ENDURA成為半導體制造的理想平臺。