二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Etch chamber for MxP #9222737 待售

ID: 9222737
晶圓大小: 6"
6" Chamber rack included.
用於MxP的AMAT(應用材料)AMAT/應用材料蝕刻室是一種用於材料加工中蝕刻應用的高性能反應器。該設備能夠產生精密的蝕刻和高質量的圖樣,具有極好的精度和可重復性。它具有許多先進的技術特點,使其成為廣泛材料加工的理想選擇。MxP的AMAT蝕刻室是一種雙室熱壁蝕刻系統。這種設計包括兩個獨立的工藝室,可以同時處理不同類型的材料。它配備了現代化、高度均勻、低能量的離子束源,能夠對各種材料進行精確的蝕刻。該裝置設計成即使在高吞吐量下也能產生一致的蝕刻結果。用於MxP的應用材料蝕刻室具有先進的多頻離子光學瞄準能力,可提供精確的蝕刻深度和厚度。它具有高度先進的故障管理和故障診斷功能,旨在確保最大程度的可靠性和正常運行時間。該機還提供先進的溫度控制,以確保最佳的蝕刻性能,並設有一個隔離的工藝室,以盡量減少大氣氣體的汙染。用於MxP的蝕刻室提供了許多旨在最大限度地提高生產效率的附加功能。它包括一個用於裝載和卸載基板的集成負載端口,以及一個用於交換基板的真空輔助晶片盒傳輸裝置。它還具有集成的計量和反饋模式,旨在提供過程參數的自動反饋,並幫助確保高質量的蝕刻。用於MxP的AMAT/APPLIED MATERIALS蝕刻室設計為易於集成到其他材料處理環境中。它提供了一系列連接接口,並且與各種行業標準的材料處理軟件兼容。該工具的設計是由一個操作員操作,使操作方便和高效。用於MxP的AMAT蝕刻室是一種先進的高性能蝕刻資產,旨在滿足現代材料加工應用的需求。該模型具有最先進的離子束源、先進的故障管理和故障診斷能力,以及集成的計量和反饋模式,可提供精密蝕刻,具有出色的重復性和強大的性能。
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