二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9221729 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS for P5000框架是一種高性能、雙室標量等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它旨在實現多種材料的高通量沈積。該反應器適用於塗料、薄膜、矽片加工等多種應用。AMAT P5000框架由鋁制底座上的不銹鋼圓柱體構成。該圓柱體分為兩個反作用室：上室用於沈積材料，下室用於蝕刻過程。腔室設有高效渦輪分子泵，用於精確控制壓力和工藝氣流。上腔有變頻源，產生電力驅動過程。腔室還有一個大功率氣箱，提供對工藝氣體的精確控制。APPLIED MATERIALS Frame for P5000提供多種安全功能,包括超壓保護、熱監控和互鎖系統。它還有一個集成的高效過濾系統，確保清潔的操作條件。該室還提供各種功能，以最大限度地提高工藝產量，包括自動瓶程序，自動工藝控制調整，以及用於熄滅節流的程序。P5000框架旨在實現各種材料的一致、高效沈積。它還能夠在高溫下處理工藝氣體，在保持統一工藝參數的同時實現高通量。這種反應器是制造半導體材料的薄膜的理想選擇，例如矽、砷化氙和氮化鋁。也適用於沈積氧化物、氮化物、多晶矽膜。總之，AMAT/APPLIED MATERIALS Frame for P5000是一種高性能、雙室標量等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，適合多種應用。它提供了一系列功能以最大限度地提高工藝產量,以及各種保護和清潔操作條件的安全功能。該腔室能夠在高溫下處理工藝氣體，在保持統一工藝參數的同時實現高通量率。這使得它非常適合於制造半導體材料的薄膜，如矽、砷化銨和氮化鋁。