二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235980 待售
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AMAT P5000 Frame是一種先進的蝕刻反應器,非常適合半導體加工.它是一個半封閉的框架反應器，意味著反應室、渦輪泵、離子源等設備的所有主要部件都包含在框架內。該P5000旨在提供高吞吐量、低擁有成本和強大的工藝氣體管理功能。P5000機架配備了多項高級功能,可實現最佳性能。其中包括一個集成真空系統，該系統控制和維持反應室內的壓力，以確保蝕刻過程保持在一定範圍內。此外，P5000包含綜合閥門的綜合單元，以精確控制蝕刻過程，包括工藝氣體管理、壓力均衡化和凈化循環。P5000框架還具有ATP控制機，能夠自動調整蝕刻過程，並最大限度地減少蝕刻參數的誤差。一個可選的源清潔劑可幫助保持腔室和渦輪泵組件的清潔，而P5000是在運行。除了高級功能外,P5000框架還提供多種安全功能。它被設計為在潔凈的房間環境中運作，因為它在從反應室中去除顆粒方面效率很高。該P5000還包含壓力感應閥，在超壓情況下自動切斷工藝氣體的流動。此外，該P5000設計用於檢測真空級別的變化，並在達到所需真空時自動關閉蝕刻過程。總體而言,應用材料P5000框架是矽器件制造的理想蝕刻反應器.它提供了出色的蝕刻效果、卓越的工藝控制和強大的安全功能,使其成為那些尋求可靠、經濟高效的蝕刻工具的人的理想解決方案。
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