二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235981 待售

AMAT P5000反應器是一種用於化學和物理氣相沈積的框架，是為精密控制塗層應用而優化的通用設備。它能夠實現精確的溫度和壓力控制輪廓，非常適合光伏和汽車電子金屬化、厚膜金屬化、退火擴散、外延、蝕刻和濺射等應用。框架本身由一個由不銹鋼框架支撐的圓形石英外殼組成。這允許頂部和底部進入內部空腔,從而創建高效且節省空間的設計。此外，真空泵和氣體歧管位於外殼外，以確保腔內可靠和受控的加工條件。內腔內襯氮化硼耐火磚，可實現可靠一致的熱均勻性。這種堅固的隔熱材料在磁控管濺射和反應性蝕刻等離子體操作中尤為重要。此外，框架提供了一個最佳的穩定平臺，在最大的工作條件下保持空腔的密封完整性。氣體入口歧管設計方便，並通過柔性軟管連接到腔室底部。進入的氣體在外部混合塊中預先混合，然後用適當的混合物直接送入腔室。可調壓力包括一個氣體控制閥和一個可以從面板監測的壓力測量表。應用材料P5000框架的溫度控制利用熱壁式燈絲加熱器進行有效、精確的熱分布。這款加熱器由環繞內腔的圓形燈絲組成，通過電流調節器進行控制以達到所需溫度。該室還配備了多個熱電偶，可提供實時溫度反饋。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000框架具有卓越的精度和精確度，是滿足沈積應用需求的理想選擇。其強大的設計和可調節的設置允許安全和一致的操作,確保可靠的性能和過程可重復性。