二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #293672286 待售

AKT/Aktell Endura II前端金屬化反應堆是一種最先進的反應堆，為集成電路（IC）制造提供了一種高效、經濟高效的方法。Endura II提供高產量和寬廣的工藝窗口,使設備制造商能夠達到最佳生產率。所有組件的設計都滿足了與領先的IC流程節點和控制技術兼容的嚴格要求。前端金屬化反應堆利用堅固的物理氣相沈積設計原理，提供鋁、鎢等材料的纖薄均勻層。該過程從預沈積清潔開始，以去除底物中的任何有機殘留物，並準備用於薄膜的沈積。沈積過程中，超高純度金屬前體在載氣中迅速蒸發，並允許凝結在基板上形成薄膜層。該系統與高性能真空系統集成，允許競爭周期時間和準確性。傳感器反饋提高了流程性能,並幫助其他系統滿足50 nm以下流程的要求。過程控制包括閉環操作，以改進過程控制和產量。持續監測溫度、壓力和靈敏度。Endura II專為各種基材的精確、快速加工而設計。它一次最多可容納六個基板，處理直徑從12mm到300 mm的基板。最高溫度為650°C，最高轉速為600 RPM，可以在短時間內達到高精度結果。此外，Endura II支持多種工藝氣體，使各種沈積配方成為可能。AMAT/Aktell Endura II前端金屬化反應堆是一種可靠且經濟高效的工具,適用於需要高效解決方案來生產IC的制造商。憑借其多才多藝的設計，它可以處理廣泛的基材和加工材料。高性能處理能力和過程控制可幫助制造商取得最佳效果並滿足具有挑戰性的設備節點的需求。Endura II憑借其處理纖薄均勻層的能力，是一款強大的集成電路生產工具。