二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA #9311362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA是為先進半導體器件制造開發的200毫米高溫深矽蝕刻反應器。它在長寬比高達10的特性中提供出色的選擇性和蝕刻均勻性，適用於MEMS應用和其他蝕刻工藝，如Norwood和Unibond。AMAT G5 MESA反應堆具有先進的工藝優化和控制算法，在一系列基材材料上提供了優越的蝕刻均勻性。其集成的過程控制監控和故障檢測算法在不犧牲吞吐量的情況下調整蝕刻速率。它還具有先進的氧氣輸送控制，以加快循環時間和提高選擇性。APPLICED MATERIALS G5 MESA react creating a highoughoxenated etch environment to improve feature selectivality and formerG5 MESA反應器適用於蝕刻矽基基板，如石英、光學玻璃和藍寶石，並適合於薄膜、粘合晶片、多芯片模塊的蝕刻。它具有高分辨率的圖像處理光學系統，允許用戶調整大面積或小特征應用的分辨率設置。它還具有一個帶有實時傳感器組件的氣體輸送系統，優化了蝕刻性能。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS G5 MESA反應堆提供了提高等離子體穩定性的高溫能力，並有助於蝕刻特征輪廓和幾何形狀的選擇性和均勻性。先進的蝕刻工藝控制算法與高溫性能相結合，取得了較好的工藝性能。AMAT G5 MESA儲層中可用的大型工藝窗口進一步提高了設備的吞吐量。APPLICED MATERIALS G5 MESA反應器設計用於研究、過程控制、故障分析和設備生產中的多用戶應用。它具有高度可配置性，並且與現有的光刻系統兼容，允許多個過程模塊和系統集成。G5 MESA反應堆擁有一系列先進的工藝優化和控制算法，以及大量的可用選項，可提供優異的器件產量和改進的工藝性能。