二手 AMAT / APPLIED MATERIALS IMP #9005263 待售
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ID: 9005263
Chamber full kit
Chamber (Include widebody Component)
2Mhz IMP Matcher (0.015), 13.56Mhz Bias Matcher
3Pos Gate valve , Cryo Pump 3Phase
B101 Heater , Shutter Linkage
Magnet 0010-21676.
AMAT/APPLIED MATERIALS IMP是一種反應堆,設計用於利用高能等離子體在高溫和高壓下處理材料。該反應堆主要用於蝕刻、沈積和制造納米顆粒,用於各種用途。反應堆有一個電磁絕緣室,在其中產生和產生等離子體。正在加工的材料暴露於使用射頻(RF)功率或直流電(DC)產生的高能等離子體中。這創造了一個低壓的高溫環境,符合特定的工藝要求。反應堆由兩個主要部件組成;一個過程室和一個射頻發電機,兩者都用電極網格結構分開。柵格用於控制腔內的柵格電磁場,以保持能量分布的均勻性。腔壁的設計也考慮到產品,提供了極好的抵抗化學攻擊。此外,隔熱室還減少了輻射和導熱傳遞給周圍環境造成的能量損失。AMAT IMP反應堆能夠在室內提供接近大氣的壓力,從而能夠對材料的加工進行精確的溫度和壓力控制。對室內能量輸入和均勻分布的精確控制,使得敏感材料的結果是一致的。等離子體也有能力精確控制正在加工的材料的反應性以及必要時不同材料之間的選擇性。由於能夠提供廣泛的工藝能力,反應堆在許多行業中有著廣泛的應用。這些包括制造半導體、生產光學塗層、生產醫療植入物和醫療假體以及生產半導體器件。總體而言,APPLIED MATERIALS IMP反應器為處理具有高能等離子體的材料提供了一種通用的解決方案。該反應堆具有在室內提供精確溫度和壓力控制的能力,是創造各行業所需的高質量成果的寶貴工具。
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