二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000 #293658099 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000是一種多功能、高性能的反應器,設計用於各種晶圓加工和外延應用。其渦扇設計使得它既適合大晶圓，也適合小規模的工藝操作。它能夠達到高達1000 °C的溫度，並具有為改善溫度均勻性而設計的厚膜加熱技術。該設備適用於超高真空或低壓應用。射頻微波源安裝在可移動平臺上，以實現最佳定位。AMAT Loadlock腔室為基材制備要求提供了一種高效、經濟高效的解決方案。它是為非惰性氣體應用而設計的，允許對氣體環境和壓力進行最佳控制。P5000室設有一個多區域線性級（配備三（3）個Eurorack線性執行器,用於基板或目標位置的獨立運動）以及一個軟件接口,用於精確控制所有工藝參數。腔室還提供了一個額外的定位器，用於旋轉基板，以保持它們在加工區域。應用材料P5000 Loadlock腔室有許多有用的特性和附件，如用於熱1/4英尺測量的傳感器條、有源電子束沈積單元、紫外線輻射源和離子束濺射偏轉器。該系統還包括一個負載鎖式傳遞室、一個多軸分離密封器和一個法拉第屏蔽，用於精確的晶圓曝光。此外，該腔室可與各種先進的診斷工具集成在一起，如活細胞成像單元、光發射光譜儀或拉曼光譜儀，以及3D剖面儀。這臺機器能夠支撐各種各樣的基材尺寸和厚度.它配備了超高精度的運動控制電子設備，能夠存儲多達25個手動參數，便於設置和校準工作參數。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Loadlock腔室為任何類型的基材制備提供了可靠、精確和可重復的工藝操作。