二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5 #9311199 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5等離子體蝕刻反應器是一種高度先進的設備，設計用於在各種制造方案中精確管理使用爆炸產生的等離子體的過程。在半導體器件制造中，蝕刻是一個關鍵性的過程，涉及利用等離子體的能量在基板中創造所需的形狀和特征。AMAT MESA G5利用感應耦合蝕刻技術，允許有效的能量從等離子體源轉移到基材上。加上先進的診斷和對參數的嚴格控制，反應堆達到了極高的精度水平。噴嘴中的腔室壓力是通過壓力控制回路控制的，壓力控制回路在蝕刻過程開始之前啟動真空序列以減壓設備。壓力控制，加上精確的功率水平和溫度調節，使得蝕刻精度非常高，降到了納米級。APPLICED MATERIALS MESA G5還具有專用的成像技術，允許持續監測和控制蝕刻過程。這確保了一致的結果,並最大程度地減少了產量差異,使其成為一個可靠的應用系統,必須以完全準確和可靠的方式執行。反應堆配有一個先進的反饋控制單元，通過將預期結果與實際結果進行比較，幫助優化蝕刻過程。這使操作員能夠迅速進行重大調整，以達到預期的效果。機器還利用壓力和溫度傳感器對過程進行連續監控和調整；例如,在高材料負載期間,傳感器將自動調整功率級別,以防止過度蝕刻。最後，MESA G5附帶多種蝕刻配方、柔性腔室清洗、暴露於多種氣體等選項，僅舉幾例。此功能集使其成為任何制造工廠中具有的高度可靠和通用的工具。AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5由於技術先進，對於要求對參數進行高精度、嚴密控制的蝕刻工藝來說是絕佳選擇。