二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5 #9358633 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5是一種反應堆，為希望在生產線中增加先進材料加工能力的客戶提供經濟高效的解決方案。它將等離子體沈積和蝕刻功能與退火和原子層沈積（ALD）技術相結合，為客戶提供強大的集成設備。AMAT MESA G5是一種微場蝕刻退火系統，設計用作小幾何電路的全工具。該單元由橋式真空室、先進等離子體沈積和蝕刻袋以及專用退火室組成。橋式真空室進行蝕刻過程，以創造接近原子精度的結構，而退火過程則允許結晶材料以精確的結構形成。Advanced Plasma Deposition and Etching （APD-E） pockets enable a range of deposition and pattaining processes.APPLIED MATERIALS MESA G5還具有可變電源，提供了在不同功率級別運行的靈活性。模塊化設計允許自定義配置以滿足用戶的特定需求。其占地面積小、集成的自動化維護程序也使其成為生產線高效、節省空間的解決方案。MESA G5配備了多種安全功能，以保證其用戶和周邊環境的保護。它具有互鎖的屏蔽以保持真空的完整性，閉環控制以調整工藝參數，惰性大氣保護以防止汙染。它還有一個氣體控制機，用於監測和調節現有氣體的流動，以及用於室內均勻加熱和冷卻的加熱器控制系統。除了所有這些特性外，AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5還因其低耗散的「幹式」腔室設計而高效，防止水凝結及其相關的汙染和腐蝕。該工具還易於操作,以確保最大正常運行時間和可靠的長期性能。憑借其可靠的性能、先進的功能和安全功能,AMAT MESA G5為客戶提供了專註於生產需求的安心。