二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series #9265323 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series
ID: 9265323
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
EPI Reactor, 6" 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/MOORE 7700系列反應堆是半導體工業中常用的一種工藝工具。它是一種垂直爐設備,設計用於處理各種尺寸的晶片,具有無與倫比的溫度均勻性、增強的晶片吞吐量和靈活性。AMAT 7700系列具有可調節的平臺高度,允許操作員根據其工藝要求調整爐子。其溫度範圍高達1600 °C,溫度均勻性極佳,允許整個腔室的溫度精確一致。此外,無論使用哪種配方,此系統都具有很高的可重復性,從而實現了良好的整體流程一致性。7850功能集在工程、設計和功能方面的卓越表現贏得了AMAT年度Fabtech產品獎。該單元采用快速熱循環(RTC)技術,將晶片的處理時間從偶數小時縮短至幾分鐘,從而實現更大的吞吐量。此外,這臺機器具有靈活性,允許操作員調整晶圓尺寸,兼容晶圓尺寸從1英寸到12英寸不等。MOORE 7700系列的腔室采用不銹鋼結構,腔室的墻壁和天花板采用創新的陶瓷保溫材料,以確保操作時保持溫度。這種良好的腔室絕緣有助於保持刀具在運行過程中運行更冷,同時也減少了不必要的能源消耗。該機采用熱氣和冷氣反應器技術相結合,使晶片上的熱流正常。7850系列還采用模塊化的盒式到盒式加載技術,允許快速、方便地加載和卸載批量的晶片。工具傳感器能夠精確監測設計過程,以便在要求苛刻的過程中提供一致和可重復的性能。簡言之,APPLIED MATERIALS 7700系列反應堆是一種用於高級工藝的高性能工具。它提供了出色的熱均勻性和可重復性,以及靈活的晶圓尺寸和快速的熱循環,有助於減少整體生產時間。這種模塊化的盒式到盒式加載技術和腔室絕緣技術進一步提高了它的整體效率和有效性。
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