二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MST #9227637 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS MST是為半導體器件制造而設計的反應堆。它是化學氣相沈積（CVD）反應器的一種先進形式，用於將金屬、氧化物、氮化物和其他金屬有機物質層沈積在矽、碳化矽、砷化的基板和金剛石等基板上。在AMAT MST反應堆中，要沈積的材料來自與反應室相鄰的腔室（這也是用來保持反應室清潔的）。源材料最初被加熱，然後流入反應室，在那裏它暴露於感應耦合射頻（RF）源產生的等離子體（一種高度通電的氣體）中。等離子體分解原料分子，然後以薄、均勻和保形的膜沈積到基材表面。底物材料被電子回旋共振（ECR）源加熱，以協助沈積過程。與傳統的CVD系統相比，APPLICED MATERIALS MST反應堆提供了更高的工藝精度和更低的熱預算，提供了明顯更好的設備性能。其CVD前體和加工參數可以在每個沈積步驟中精確控制，從而可以精確控制材料組成、特征大小、層厚度以及沈積材料和現有材料之間的界面。CVD層的可重復性和均勻性提供了高度的工藝收率和可靠的設備性能。等離子體提供了一個低壓工作環境，獨立於壓敏材料特性，是一些材料如氮化物和氧化物的理想選擇。MST反應堆的部件設計為可靠、長期運行。反應室本身由304個不銹鋼構成，而墻壁和屏蔽則由鋁和鉬合金制成。用於控制射頻源和底物溫度的加熱器和電動機堅固可靠，密封容器有助於防止分子種類從反應堆內排出氣體。反應室的自動化操作使得無人處理能夠在工業環境中進行。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS MST反應器用於將保形薄膜層沈積到基板上。它對材料組成、層厚度、特征尺寸和均勻性的精確控制,使設備性能可靠,工藝產量高。AMAT MST系統采用低壓等離子體環境，是氧化物和氮化物等某些材料的理想選擇。其強大的部件和自動化操作使其適合在工業環境中長期、大量使用。