二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP+ Oxide chamber for Centura #293656085 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS MxP+Oxide camber for Centura是半導體技術中的關鍵設備。該反應器用於半導體制造中各種氧化物和氮化物的高精度沈積。它的設計具有很高的吞吐量和最大的可靠性,以便在生產中產生一致的結果。MxP+氧化室由一個由不銹鋼制成的外殼組成，容納沈積過程。此過程使用PECVD控制器進行管理,以確保正確的沈積條件。在反應堆內部放置石英管以固定目標材料進行氧化。這是結合氣體輸送系統進行的，以沈積所需的材料。這可以從矽酸鎢到摻磷氧化物。MxP+氧化室是為高長寬比特性而設計的，由自己的冷卻系統進行冷卻。它有兩點溫度控制，也提供-60°C至400°C的溫度範圍。反應器也有真空泵，以保證更好的沈積。為了進一步保證沈積的一致性，MxP+氧化物室配備了一個殘留氣體分析儀，檢查是否存在氣體。運行壓力由離子計監控，並由渦輪分子泵控制。MxP+氧化物室使用預測軟件運行，該軟件利用過程建模力學使反應堆在生產過程中得到更好的控制。此軟件不斷更新,以保持在市場需求的領先地位。AMAT MxP+Centura的氧化室是半導體工業中材料沈積成功的重要組成部分。該反應堆的設計不僅提高了吞吐量，還提供了可靠的結果。通過優化壓力、溫度和殘留氣體濃度，MxP+氧化室能夠提供半導體工業所需的精確沈積。