二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP+ #293749249 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS MxP+是用於高級介電和金屬膜沈積的下一代等離子體增強CVD （PECVD）單晶片反應器。該設備旨在提供低成本的集群工具制造能力，以實現嚴格的過程控制和優化的設備參數，從而使薄膜質量更好。AMAT MxP+反應堆利用電子回旋共振（ECR）等離子體源產生高密度護套電勢，允許較大的電離物種逃離等離子體進入低壓沈積室。這種護套電勢也阻止電子噴出出腔室，產生更高的離子轟擊壓力。此外，其獨特的流體註入技術能夠精確控制晶片上離子的密度，以獲得最佳的沈積厚度、附著力和平坦度。該系統還具有低擁有成本和密封真空室的特點，以盡量減少汙染和保持一致的過程。APPLICED MATERIALS MxP+反應器可用於沈積ALD、high-K、low-k材料等高品質介電膜，均勻性、階梯覆蓋率和出色的熱/機械性能分布。此外，反應堆能夠沈積鋁、銅和鎢等金屬薄膜，從而更好地防止電遷移和提高電導率。此外，MxP+反應堆非常適合用於半導體MEMS和光電應用。除了增強的PECVD功能外，該單元還配備了幾個高級傳感器，用於完整的過程監控。這包括測量離子能量、離子能量分布和等離子體密度，以便更精確地調整工藝參數和更有效地監測沈積工藝。該機還可以與外部過程控制軟件和自動化前饋系統集成，以增強反饋控制。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS MxP+是先進的PECVD單片反應器。為提高膜沈積質量提供了改進的電離物質向基質的遷移和等離子體參數的精確控制。它的集成傳感器還允許實時監測和反饋控制，以及一個密封的真空室，以防止汙染物。這使得它成為半導體MEMS和光電應用中先進的介電和金屬膜沈積的理想工具。