二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #293665016 待售

AMAT/APPLIED MATERIALYLOMPIA（AMAT Olympia）是一種增強型等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，設計用於薄膜塗層和材料的工業沈積。應用材料奧林匹亞反應堆采用一種創新的感應耦合沈積工藝，使材料能夠單步沈積到表面上。此過程能夠實現高質量和可重復性。奧林匹亞以圓柱形真空室為特色，高密度等離子體源位於底部。等離子體源利用氣體壓力、熱量和電壓的組合產生等離子體，使反應物擴散和反應。反應物通過氣流輸送到底物，然後與來自等離子體的反應物質混合。腔室設計包括用於復雜多層塗層的三面窗，以及用於側壁蝕刻和薄膜快速重新沈積的多個側面和後部密封口。此特性允許腔室在一個循環中進行多個過程，如蝕刻、沈積和氧化。室底還裝有電磁線圈，用於電感耦合沈積。AMAT/APPLIED MATERIALYOLMPIA反應堆擁有集成的自動化和過程控制設備，使操作員能夠為各種材料定制和設置過程參數。這些參數包括但不限於壓力、溫度、射頻功率、氣體成分和工藝持續時間。AMAT奧林匹亞反應堆還配備了強大的分析診斷和監測系統。這包括一個氣體分析儀、質譜儀、四極質量過濾器以及一個先進的壓力控制和診斷單元，允許用戶監控各種工藝條件。這使操作員能夠優化產量和吞吐量,並確保產品的可靠性和一致的質量。此外，先進的計算機控制軟件為用戶提供了分析和記錄數據以進行分析和反饋的能力。因此，用戶可以持續監控和優化流程參數，並對流程進行故障排除和改進。APPLICED MATERIALYOLMPIA的設計非常可靠,能夠最大程度地減少停機時間。它的模塊化設計和可擴展的數字體系結構允許進行直接的配置更改,從而增加靈活性並快速啟動生產。總而言之，奧林匹亞是一種先進、可靠、靈活的薄膜塗層和材料工業沈積工具。它可以可靠地制造各種元件，從微電子裝置到結構材料，具有很高的可重復性和準確性。此外，其工藝控制機和診斷工具使其成為質量和生產力優化的理想選擇。