二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9293600 待售

AMAT/APPLIED MATERIALYOLMPIA是一種前沿反應器,設計用於在IC制造和半導體應用中沈積薄膜。它基於稱為原子層沈積技術（ALD）的AMAT專有核心應用引擎。AMAT Olympia反應堆由兩個同心反應堆組成，這些反應堆由一個垂直氣相體積連接，該體積包含一個專利的旋轉四針噴嘴。每個反應堆占據氣相體積的四分之一，而四銷噴嘴則在整個基板表面提供均勻的沈積速率和均勻性，以及高效的氣相分布。應用材料奧林匹亞反應堆能夠沈積多種材料，包括金屬氧化物、硫、氮、氯、硼和其他高介電材料。均勻的沈積速率和均勻性旨在確保每個應用程序都具有可重現的過程。旋轉的四針噴嘴允許對沈積過程進行精確控制，可調節參數包括噴嘴角度、噴嘴速度、氣相濃度和清掃速率。反應堆的自動氣體壓力監測進一步加強了對沈積的精確控制。這有助於確保取得最一致的結果。奧林匹亞反應堆還具有先進的自動熱管理功能。這種特性可以精確控制基板加熱過程，確保可預測的沈積。自動熱管理有助於減少缺陷以及沈積過程中熱損壞的可能性。AMAT/APPLICED MATERIALYOLMPIA反應堆裝有集成的氣體-散裝輸送系統，利用高壓氮氣提供優越的生長控制。高壓氮確保了穩定的沈積速率，對於需要更高精度結果的應用至關重要。反應堆還提供自動定心能力，使基板更容易居中，減少錯位造成損壞的可能性。AMAT奧林匹亞反應堆是一種用途廣泛的沈積系統，用於工業、研究和其他應用。其可靠性和可重復性使其成為可重復、長期沈積過程的絕佳選擇。其先進的熱處理確保了精確的溫度控制，確保了可預測的沈積速率和均勻性。先進的散氣輸送系統確保了氣相濃度的一致，為各種材料的沈積過程提供了極好的控制。