二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9294421 待售

ID: 9294421
CVD System, 12" Process: SiN, LowK, ALD 2015 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALOLYMPIA CMOS反應器是一種高度先進的技術,旨在使半導體制造中的光刻性能最大化。這一設備能夠處理30多個光掩模,並擁有一系列先進的光刻特性,如相移掩蔽、雙曝光光刻和接近校正。反應堆采用獨特的雙曝光技術,允許像素精確定位和最小化曝光。此功能可提高制造效率,而不會影響分辨率或精度。AMAT Olympia CMOS反應堆還提供多種分辨率增強選項,如離軸照明、幹涉測量和焦點細化。此外,該系統還能夠利用多種材料,包括聚酰亞胺、PE-CVD光刻膠、光刻膠回流等。該反應堆還提供各種先進功能,旨在最大限度地提高晶圓吞吐量和產量。這包括利用高密度電荷耦合器件(CCD)傳感器和閉環過程控制單元。CCD傳感器使機器能夠快速檢測和調整最佳的圖樣放置和曝光,以獲得最佳的光刻效果。閉環過程控制工具進一步減少了手動調整的需要,因為它提供了晶圓位置和過程參數的恒定反饋,以自動進行任何必要的調整,使機器能夠以最佳效率運行。在軟件方面,APPLIED MATERIALOMPIA CMOS反應堆運行最新版本的APPLIED MATERIALYLOMPUS光刻套件。該軟件平臺提供了豐富的功能,如模式投影、失真校正、腔室映射、邊緣珠去除等等。此外,Olympus套件還能夠在實際晶圓處理之前模擬光刻工藝,為操作員提供預期結果的詳細視圖。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS/Olympia CMOS反應堆是一種用途廣泛、效率極高的光刻技術,專為廣泛的半導體制造應用而設計。該資產擁有一系列先進的光刻功能、高密度CCD傳感器和閉環工藝控制,以及Olympus光刻軟件套件,具有無與倫比的性能。
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