二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Oxide chambers for MxP+ #293650013 待售

用於MxP+的氧化室是一種最先進的高性能氧化物反應器。該設備配有兩個工藝室，每個室都配有獨立的獨立電源，從而實現單獨的氧化物反應堆配置或同時加載晶片。它經過專門設計,以應對當代下一代設備功能（如分層和設備內結構）的挑戰,並提供極端的過程穩定性、精確度和可重復性。MxP+的AMAT氧化室具有接受廣泛前體的靈活性，包括一氧化二氮（N2O）、低k氟化氣體以及多種矽、​​和有機金屬反應物。它們具有集成的HD-OFF-III熱壁CVD工藝,能夠處理高溫退火和高壓工藝。系統可以使用多種氣體，並且由於使用了獨立的電源，該單元被設計用來防止晶圓在處理過程中受到幹擾。適用於MxP+的應用材料氧化室的基本氧化過程快速可靠，所得電介質膜均勻分布在矽和金屬氧化物半導體（MOS）器件上。在薄膜鈍化方面，氧化物腔室提供了在各種蝕刻化學的各種底物上可加工的標準標準膜的均勻性。此外，氧化物室提供了重復開口的薄膜和一致的填充率。此外,用於MxP+的氧化物腔室還配備了高性能光學剖面儀和先進的視頻顯微鏡,可實時控制和監控薄膜,確保一致的高精度結果。除了加工室之外，這臺機器還附有一個軟件包，旨在使工具的操作和維護變得容易和方便。此軟件提供準確的流程控制、報告和流程配方管理,以及詳細的故障顯示和警報。AMAT/應用材料MxP+的氧化室是那些需要可靠和高效氧化物反應器來處理其最先進的電子設備的人的理想選擇。憑借其強大的設計和過程控制,此資產在最高精度和吞吐量級別上提供了所需的精度和可重復性。