二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Chamber #9186167 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一種高性能反應器，旨在實現半導體器件制造過程中的快速、精確和精確處理。AMAT P5000 Chamber憑借其先進的功能，為關鍵應用提供了最高水平的溫度均勻性、可重復性和溫度控制。應用材料P5000室由兩個截然不同的部分組成-一個處理部分和一個熱隔離室。加工部分包括一個在加工過程中容納基板的真空室，一個在加工過程中支撐基板的上層卡盤，一個用於背面溫度控制的下層靜電卡盤，以及一個石英配置的磁感器/升力銷，在加工過程中提供精確的基板定位。此外，還包括一種氣體向基板輸送設備，根據需要在不同的壓力和流量下將所有氣體精確輸送到基板。隔熱室為基板提供了一個隔離的環境，並允許以更高的精度控制基板各個部分的溫度。隔離室設有一個獨特的機制，稱為「快門系統」，在P5000室加工過程中有助於調節和維持基板的溫度均勻性。當處理完成時,快門單元會自動關閉自身,從而確保最佳的處理環境。在機器啟動和關閉期間,這種熱隔離也是有益的,因為它可將基板或腔室溫度變化降至最低。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000室還設計了一系列其他功能,以支持精確和精確的處理。它包括一個自動晶圓傳輸和定心工具，一個允許精確氣體控制的原位殘留氣體分析儀，以及一個多氣體輸送資產。該室配備了高度先進的惰性氣體環境管理模型，消除了對底物可能受到汙染的擔憂。AMAT P5000室的設計目的是在廣泛的處理要求方面提供可靠的結果和最大的靈活性。其優越的溫度均勻性、可重復性和溫度控制能力使其非常適合多種應用，包括CVD、蝕刻、氧化、金屬沈積等等。應用材料P5000室對於任何半導體制造設施來說都是一個非常寶貴的工具，能夠實現精確、可重復和統一的處理結果。