二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 DxZ #9183838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 DxZ是一種精密的高溫化學氣相沈積（HTCVD）反應器，能夠在高達1400 °C的溫度下沈積薄膜。該反應堆設計用於研究和工業應用，如金屬氧化物薄膜和碳化矽層的生產，具有廣泛的材料和電性能。AMAT P5000 DxZ是一種多區域設備，每個區域獨立運作，並有自己的控制參數，如溫度、流量、反應物濃度、腔室壓力等。每個區內的溫度可調高至1,400 °C，或以均勻或循序漸進的方式，而內部壓力則可維持在6至40毫巴之間。反應物通過專用入口輸送到每個區域，而每個區域還包含一個淋浴噴頭，未反應的反應物可以通過該淋浴噴頭反沖。APPLIED MATERIALS P5000 DxZ具有獨特的管狀結構,具有十二個同心圓柱形零件,用作加工氣體的加熱元件和安全殼。這些部件采用高純度鉬制成，並配有水冷銅隔熱板，一起在整個基板區域提供出色的熱控制和均勻加熱。系統總溫度均勻性通常優於± 1 °C。P5000 DxZ包括高級安全功能,如過程監控、自動事故檢測、爆炸保護、故障警報通知等。它還配備了具有用戶友好的圖形用戶界面和遠程監控功能的高級控制單元，方便地集成到現有的過程控制機中。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 DxZ是薄膜高溫沈積的絕佳選擇，適用於研究和工業應用。憑借其先進的設計和特點，該工具能夠實現高度可重現和可靠的薄膜沈積工藝。