二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9252520 待售
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ID: 9252520
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
TEOS System, 6"
Oxide covers
Thermal type
(3) DLH
1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I是為先進半導體加工而設計的最先進的幹蝕刻反應器。它是金屬、聚合物或絕緣體等敏感材料的高精度加工的理想選擇。該反應堆因設計和建造先進,可提供卓越的晶圓蝕刻性能。設備的核心是一個獨特的等離子體源,能夠生產納米精確的微粒控制等離子體。這種先進的技術產生了質量最高的均勻蝕刻輪廓和更好的特征控制,當圖樣定義與苛刻的材料問題。AMAT P5000 Mark I也有一個全自動的控制系統,提供可重復蝕刻過程的高產率。APPLIED MATERIALS P5000 Mark I還采用了創新的腔室設計,能夠在不影響穩定性或性能的情況下提高生產效率。具有低溫體、可調源功率、高效供氣結構。這保證了腔室具有較高的均勻性、較低的顆粒密度和顯著提高的蝕刻速率。P5000 Mark I還有一個專有的低溫腔室襯裏單元,允許腔室達到僅20-30攝氏度的溫度。這臺機器還確保了更好的熱均勻性,導致了更高的等離子體密度和增強的高精度蝕刻。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I還提供了一種高性能裝載機,可支持各種部件,即使是那些汙染程度很高的部件。最後,此工具具有出色的診斷功能,可以識別和報告各種參數,幫助快速高效地診斷任何性能問題並快速解決這些問題。總之,AMAT P5000 Mark I是一種高性能的先進蝕刻反應器,具有優異的晶圓加工性能,增強了特性控制,提高了蝕刻產量。它配備了獨特的等離子體源、高效的氣體供應以及低溫腔室襯裏資產,使其能夠生產出高度均勻、納米精度的等離子體。它還具有出色的診斷功能和支持多種部件的高性能加載程序。
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