二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9313267 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I，俗稱AMAT P5000 Mark I，是為化學氣相沈積（CVD）而設計的高容量高通量工具。APPLIED MATERIALS P5000 Mark I能夠處理小型和大型基材尺寸,使其成為工藝開發和研究應用的理想解決方案。基地配置由全自動CVD反應物輸送設備、40英寸底物支架、兩個控制過程流量的氣箱、反應室和氣動操作的垂直升降機組成。P5000 Mark I具有用於高級流程監控的新集成數據收集系統,以及用於故障排除和流程優化的各種診斷工具。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I配備了一個氣體輸送裝置，可以控制多個氣體。過程氣體的輸送通過兩個氣體盒進行管理，這兩個氣體盒可以被排序以提供可重復的結果。氣體箱最多可容納16種不同的氣體，然後使用質量流控制器流過反應室。反應室是直徑為20英寸的不銹鋼襯裏圓柱形室。它具有高達1000 °C的溫度和10 Torr的壓力，晶圓容量為11英寸。反應室由獨特的脈沖清除機進行清洗，該機最大程度地提高了工藝氣體的均勻性。AMAT P5000 Mark I還具有垂直升力，可調節反應室上的晶圓水平，以提高工藝參數的均勻性和穩定性。它由氣動工具驅動，可以自動實現可重復結果。此外,它還可以為需要射頻能量的過程配備可選射頻發生器。APPLIED MATERIALS P5000 Mark I是一種先進的工具,具有先進的技術,能夠進行可靠和精確的CVD處理。它為工藝開發和研究應用提供了有效的解決方案，允許生產高質量的薄膜材料。集成的數據收集資產增強了過程控制,診斷工具支持優化和故障排除。