二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J #293761841 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J是一種先進的等離子體化學氣相沈積（PECVD）反應器。P5000系列的這一特定模型旨在用於中高體積半導體制造過程。該反應堆的特點包括最高底物溫度500 °C，一個不銹鋼加工室，以及最多五個源氣體。通過將射頻感應線圈和電鍍加熱相結合，設計為在整個基板表面提供均勻的溫度。AMAT P5000 Mark II-J被設計用於薄膜和電介質的沈積，以及金屬和多晶矽等其他材料。它有一個安裝在基座上的專用腔室，以及兩個獨立的氣體進入系統，允許兩個不同的沈積過程同時發生。沈積室配有射頻感應線圈，設計用於均勻快速加熱基板，確保基板均勻加熱，並提供出色的溫度控制。該反應堆是為高通量和可靠性而設計的，提供最多五種源氣體的選擇，包括O2、H2和稀有氣體鹵化物源氣體。隨著這些氣體的引入，它們與一層基材發生反應，導致其分解後沈積。結果是薄膜或介電材料，取決於所使用的源氣體。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J反應堆還配備了交互式用戶友好界面和控制面板。這提供了一個平臺，用戶可以在室內監測氣體流動、氣體壓力、溫度和薄膜厚度等條件，並為給定的過程設置反應堆。此外,該面板允許通過以太網或RS 232連接將數據輸出到遠程計算機。P5000 Mark II-J是一種先進的PECVD反應器，能夠生產高質量的薄膜和極高通量的電介質。其溫度控制能力和用戶友好的界面使其成為半導體制造應用的首選。
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