二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP #9200085 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP是一種大面積的鎢MPCVD反應器，設計用於在多種大型基板上制造薄膜塗層。該反應堆設計用於生產和研究環境，能夠使沈積溫度提前達到750C。基材直徑可在2英寸至8英寸之間，由晶圓夾緊設備固定到位。真空室配備了線性電動轉移機器人以及雙升降銷系統，允許加熱基板的精確運動。該裝置還配備了若幹功能，能夠進行過程控制和監測。其中一個特性是內置的監控器，它提供對工藝室條件的實時反饋。內置的六通道溫度監視器有助於識別任何與溫度相關的不規則性,並幫助用戶相應地調整腔室溫度。此外，該工具利用六區雙淋浴頭輸送資產，通過控制進入模型的過程氣體的壓力和流量，有助於提高過程的均勻性。AMAT P5000 Mark II MxP反應堆配備了多種安全特性，以滿足嚴格的安全要求。這些特點包括高壓情況下的自動關閉機構、防止過熱的熱保險絲以及揮發性材料的過期控制指示器。此外，反應堆有一個集成的故障安全機制，在發生電源故障或其他故障時隔離和疏散腔室。總體而言,應用材料P 5000 MARK II MXP是一種先進的沈積和反應平臺,非常適合生產和研究應用。內置特性和安全協議有助於簡化操作,並為用戶提供在各種大型基板上生產薄膜塗層的可靠高效方法。