二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP+ #9200093 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP+是一種等離子體增強原子層沈積（PEALD）反應器,旨在制造具有可靠、均勻性能的多種材料。該設備專為研究、工業和商業用戶而設計，具有最高的精確度和可變性，可用於工藝優化。該裝置由EL-Plasma外殼、P5000 E-gun電源和控制單元組成。EL-Plasma外殼內裝2區加熱元件，原位氣體混合系統，以及密封以維持溫度和壓力控制的真空室。P5000電子槍能夠產生2到50kW的輸出功率範圍，1MHz時微調能力為1kw。這允許用戶創建1.5至4.0 x 10^20/cm^ 3之間的等離子體密度,從而使用戶能夠精確控制其沈積過程。控制單元是指機器的監控技術，利用基於AI的算法，在沈積過程中精確調整反應堆參數，自動優化沈積結果。AMAT P5000 Mark II MxP+支持多種材料,包括氧化物、氮化物、碳化物、合金和金屬基板。EL-Plasma外殼中的雙區加熱元件使腔室中的溫度保持在200°C至1000°C之間，而壓力範圍從1 mBar到0.1 mBar。此外，用戶還可以精確控制高達-1,500伏的基板偏壓和高達20 Watt/cm2的離子通量。總體而言,應用材料P 5000 MARK II MXP+是一個強大、可靠和精確的沈積單元.它具有先進的功能和監控技術,非常適合研究、工業和商業用戶。該裝置能夠再現極低至高溫和高壓範圍的結果，並能在微調腔室等離子體和偏壓的情況下產生獨特的沈積剖面。該機旨在優化各種基材和材料類型的最大沈積速率和均勻度的工藝參數。