二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293586419 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Varian反應堆是一種專門設計用於對各種材料進行精確蝕刻處理的等離子體蝕刻反應堆。它具有薄膜沈積設備，是市場上最先進的幹蝕刻系統之一。該系統利用先進的靜電卡盤（ESC）在基板水平，提供了良好的溫度控制和均勻性在樣品單選更均勻蝕刻。該單元的離子束源由三源射頻等離子體發生器和一個T形陰極組成。然後將等離子體聚焦成對稱的均勻光束，轉移到進行蝕刻的基板表面。脈沖調制機對腔內等離子體進行了修改，使蝕刻工藝參數與被蝕刻材料精確匹配，從而進一步加強了整個過程。AMAT P5000 Mark II使用微波環形推進器在整個腔室中產生不均勻的等離子體分布。等離子體隨後通過電子回旋加速器與電子束共振轉移到樣品上。這允許在優化蝕刻過程的同時控制樣品的均勻性。離子束源利用ELNA夾槍，允許精確特征的高分辨率處理。該工具還具有蝕刻速度優化過程和數據管理軟件包,允許根據所需參數進行處理。應用材料P 5000 MARK II是各種材料中需要精確蝕刻和薄膜沈積的理想材料。廣泛應用於航空航天、微電子、光學傳感器等需要精密蝕刻和薄膜沈積的行業。此外，資產還配備了一套廣泛的用戶友好控制，從而能夠精確控制蝕刻過程。該型號還與標準蝕刻工藝和設備完全兼容，大大降低了設備集成的成本和時間。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II是一種可靠高效的蝕刻系統,非常適合需要精確蝕刻性能的各種行業。