二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293725493 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種模塊化感應耦合等離子體(ICP)反應器,設計用於多模塊沈積應用,包括薄膜沈積、蝕刻、氧化物鈍化和清潔。它是一種多模塊ICP反應堆設計,允許同時沈積不同的層,如保護層和抗反射層。AMAT P5000 Mark II具有兩個主要模塊,一個離子源和一個離子集電極,分別產生和收集用於沈積和蝕刻的反應性通量。此外,APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II可以在單次運行中實現分層沈積的層對層過渡,從而最大限度地提高過程一致性並減少所需的原材料。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II配備了強大的加熱和冷卻設備,能夠快速將加工室向上或向下傾斜至所需溫度。這使得它非常適合與許多先進的材料和工藝一起使用,例如使用氧化銨錫(ITO)和其他低溫材料。P 5000 MARK II也可以編程為執行復雜過程的可重復沈積、蝕刻和清潔循環。該系統還具有高級流程監視和控制功能,可以精確控制流程參數。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II包括一個自動過程控制單元,允許根據實時變化的條件對參數進行即時調整,這意味著即使整個沈積過程條件發生變化,過程穩定性也可以最大化。該機還擁有直觀的用戶友好軟件,便於操作和編程。除了優越的工藝控制外,P5000 Mark II堅固的結構和較低的維護要求使其成為工業用途的經濟選擇。其無氮環境防止氧化,有助於材料純度和工藝吞吐量最大化。因此,即使在大批量生產中,它也能提供高度一致和可重復的結果。總體而言,AMAT P 5000 MARK II是一種多模塊ICP反應器,設計用於先進的薄膜沈積蝕刻、氧化物鈍化和清潔應用。它具有良好的工藝控制、可重復的工藝周期和先進的溫度控制,使其成為工業生產的可靠和堅固的工具。
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