二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9081647 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種反應性離子蝕刻器（RIE）-一種用於電子元件微加工的等離子體反應器,特別是用於創建納米級特性。該工具能夠精確蝕刻具有非常高的分辨率和對等離子體參數的出色控制的薄膜材料。系統的主要部件包括真空室、用於產生高頻無線電波的天線、反應管、氣體入口和出口以及控制器。AMAT P5000 Mark II利用射頻等離子體在真空室內產生反應性高能物質。等離子體中產生的反應性物質與氣體分子發生反應，並通過金屬天線產生的電場沿反應管加速。指向工件的高能物質與表面和蝕刻薄膜材料發生反應。該工具的設計易於維護和校準,並在系統上安裝了一個監視器,用於跟蹤關鍵參數,包括氣體壓力、溫度和功率。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II的工作溫度範圍為5至80˚C,壓力範圍為1.3至1000 mTorr,適用於各種材料和工藝。對不同材料的應用功率、反應化學和加工條件進行了優化，使納米結構地形具有很高的蝕刻速率、出色的分辨率和控制能力。該系統還具有可編程的自動聚焦，在蝕刻過程中可保持高達50 mTorr的恒定反應壓力。AMAT P 5000 MARK II是電子元件微加工、納米級特性、高分辨率、高精度、對等離子參數控制出色的薄膜的理想選擇。該工具具有很高的可靠性和經濟效益,並提高了生產效率和可重復的性能。