二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9086795 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種大型、專業級的反應器，用於薄膜和其他材料的化學沈積。用於生產半導體材料等集成電路元件。AMAT P5000 Mark II是一種步進重復設備，有兩個獨立的磁頭，每個磁頭包含兩個插槽，最多可容納4個加工室。每個插槽最多可容納3個腔室，以容納各種工藝，包括薄膜沈積和蝕刻。雙頭架構允許在配置系統時具有很高的靈活性。Mark II有一個負載鎖單元，最大晶圓尺寸為12英寸。它具有自動轉換機，可以在單步過程中在插槽之間移動晶片。該工具采用模塊化設計,便於升級和重新配置,從而增強了用戶的靈活性。Mark II具有高真空鎖載室，僅使用幾毫羅泵就能保持高達10-3托爾的工藝壓力，非常適合原子層沈積等苛刻應用。資產還提供了一個疏散和排氣模型，以便快速控制工藝氣氛。APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II利用氣體面板，可以支撐多個氣源。燃氣面板還有一個用於溫度控制的集成熱交換器，允許對燃氣混合物進行實時調節，以實現最佳的工藝控制。此外,該設備還具有一組用於配置單個腔室I/O的高級電氣進給通路,以及每條線路的獨立電源。該系統配備了直觀的基於Windows的控制單元，可輕松配置和控制各種功能。此外,Mark II提供了內置配方,以簡化流程開發和後續操作。在安全方面，該機設有安全聯鎖工具，以防止任何意外操作和緊急關斷開關。此外,資產的ESDS功能可保護加工室免受地面故障的影響,並為附近的任何工人提供進一步的保護。AMAT/APPLICED MATerials P 5000 MARK II是一種非常先進和可靠的反應器模型，非常適合薄膜和其他材料的化學沈積。P 5000 MARK II具有高真空鎖載室、模塊化設計、自動化傳輸設備和內置安全功能,為用戶提供了增強的控制、精度和靈活性,以滿足其薄膜沈積需求。